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外觀檢查
正常的滲氮件表面呈銀灰色或淺灰色，不應該出現裂紋、剝落或嚴重的氧化色及其它非正常顏色。如果表面出現金屬光澤，則說明工件的滲氮效果欠佳。
滲層硬度檢查
滲氮層表面硬度可用維氏硬度計或表面洛氏硬度計測量。當滲層很薄時，就需要用顯微硬度計測量。若需要測定化合物層硬度或從表面至心部的深度-硬度曲線，則采用顯微硬度法。
值得注意的是，硬度檢測力的大小，必須根據滲層深度而定，試驗力太小，測量精度不高，太大又可能壓穿滲層，使硬度測量不能進行。表10 是根據不同滲氮深度而推薦的硬度試驗力數值。
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