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抗蝕滲氮的目的是獲得厚度為15~60μm的致密 ε 相的滲層，以提高工件在大氣及水中的抗蝕能力。抗蝕滲氮氨分解率不應超過70%，滲氮溫度可達600~700℃，保溫時間以獲得要求的滲層深度為依據，但時間又不能過長，以免 ε 變脆。
為了使滲氮層具有足夠的抗蝕性，應保持 ε 相層具有50%以上的致密區。檢查抗蝕滲氮層的質量，可將滲氮零件浸入10%的硫酸銅溶液中靜置2~3min，以零件表面不沉淀析出銅為合格。
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