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滲氮對材料的適應面非常廣，一般的鋼鐵材料和部分非鐵金屬，如鈦及鈦合金等，均可進行滲氮及多元共滲處理。以滲氮為主的多元共滲用鋼與滲氮用鋼是一致的。
為了使工件心部具有足夠的強度，鋼的含碳量通常為（w）0.15%~0.50%，工具鋼更高。添加W、Mo、Cr、Ti、Ni、Al等合金元素，可以改善材料滲氮處理的工藝性及綜合力學性能。
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