國內外連續光亮退火爐系統的研究前景

    國內外連續光亮退火爐系統的研究前景，如以美國和德國公司為代表的單點測溫技術，以線光源(燈管)為熱源的雙面加熱形式，利用紅外輻射加熱原理對硅片進行直接加熱。美國應用材料公司獨特的多點側降技術，采用點光源(燈泡)和單面加熱作為熱源。球形燈泡發出的光通過高透過率應時窗進入反應室，加熱硅片支撐排列環上的硅片。溫度信號檢測側由多個響應時間非?？斓募t外探頭實時檢測，產品在加熱過程中高速旋轉，使得晶片表面與反應氣體的接觸概率幾乎相同。

    連續高溫回火的目的是獲得回火索氏體或珠光體基組織，并獲得良好的綜合力學性能。因此，高溫回火通常用作淬火和回火工藝，也可用于非淬火狀態的零件以消除應力和防止變形，如焊接結構零件以消除焊接應力。高溫回火也用作表面淬火返工的中間過程，以消除應力和降低硬度，而不是退火過程。正火后，高溫回火通常用于降低硬度和改善可加工性。高溫回火也可用作熱處理(包括滲碳等)前復雜零件和高合金鋼零件的預處理工藝。)。

    產品主要用于燒結和加熱其他無機新材料，如鋰電池新能源材料、稀土材料、陶瓷材料、耐火材料、磁性材料、電子器件、硬質合金和催化劑。工作溫度可低于1750，可根據不同產品的燒結工藝選擇使用。它是一種連續工作的節能電爐。與間接箱式爐相比，電窯具有節能、操作方便、熱穩定性好、產品合格率高等優點。這是目前中國理想的燃燒設備。