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一種箱式退火爐及其加熱方法
摘要：本發明公開一種箱式退火爐,包括箱體和箱蓋,所述箱體內設置有承托裝置和加熱裝置,所述加熱裝置包含有加熱器和電熱棒,所述加熱器和電熱棒均與箱體內壁固定連接,所述承托裝置包含有托架和盤式轉軸,所述箱體下面設置有電動機,所述電動機上連有聯軸器,所述聯軸器上連有轉動軸,所述轉動軸的一端通過聯軸器和電動機固定連接,所述轉動軸的另一端與托架螺栓連接,所述盤式轉軸兩端分別與托架和箱體內壁固定連接,所述箱體兩側設置有電源和控制裝置,所述電源和控制裝置均與箱體螺栓連接,所述加熱器,電熱棒,電動機和控制裝置均勻電源電性連接,所述加熱器,電熱棒和電動機均與控制裝置電性連接;該箱式退火爐能使半導體芯片受熱均勻.
申請(專利)號： CN201810566036.4
申請日期： 2018-06-04
公開/公告號： CN108707969A
公開/公告日期： 2018.10.26
申請(專利權)人：蕪湖裕優機械科技有限公司
發明人：不公告發明人
國省代號： CN340202
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